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洁净室的温湿度主要是根据什么来确定?

来源:http://www.jntfclear.cn/news/55.html    发布时间 : 2016-09-17

今天我们来了解一下洁净室的温湿度主要是根据什么来确定的,下面我们来了解下:  洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别 是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

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