洁净室的温湿度主要是根据什么来确定？
来源：http://www.jntfclear.cn/news1149333.html 发布时间 : 2016-9-19 0:00:00
今天咱们来了解一下洁净室的温湿度主要是根据什么来确定的？下面我们来了解下： 洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别 是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。
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